KASHIYAMA工業(yè)株式會社,多年來致力于真空技術(shù)的研究,不斷開發(fā)進(jìn)取,在半導(dǎo)體制造領(lǐng)域和高科技行業(yè)中擁有極高的信譽(yù)。尤其在半導(dǎo)體制造領(lǐng)域,獲得了客戶的高度評價與信賴。KASHIYAMA柏山工業(yè)的LEH300MS干式真空泵系列已經(jīng)成為半導(dǎo)體制造業(yè)與液晶顯示制造行業(yè)的標(biāo)準(zhǔn)設(shè)備。并,除此之外,魯式及排氣組合式真空泵設(shè)備則在其他領(lǐng)域得到廣泛應(yīng)用。
我們的水環(huán)真空泵由圓形殼體和葉輪組成。當(dāng)殼體內(nèi)放入適量的水,葉輪旋轉(zhuǎn)時,水因離心力而移動,同時形成與殼體同心的圓形水膜。
因此,水膜和相鄰葉片形成一個密封空間,隨著葉輪的旋轉(zhuǎn),該空間的體積發(fā)生變化,連續(xù)進(jìn)行吸入、壓縮和排氣,從而形成高效泵。
近年來,從污染問題的角度考慮,還有一種方法是循環(huán)密封水而不是直接流出,以防止吸入氣體中含有的各種有害氣體溶解或與水混合而排出。
型號\規(guī)格 |
電機(jī) (千瓦) |
極限壓力 (Pa) |
排氣速度 (m 3 /hr) |
轉(zhuǎn)數(shù) (rpm) |
直徑 (毫米) |
供水量 (升/分鐘) |
重量 (kg) (含M) |
尺寸 (寬×深×高) |
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50赫茲 | 60赫茲 | 50赫茲 | 60赫茲 | |||||||
LEM3 | 0.2(2P) | 7.3×10 3 | 3.4 | 4.2 | 2900 | 3500 | PT3/8 | 3 | 14 | 275×190×205 |
LEM6 | 0.4(2P) | 7.3×10 3 | 6.6 | 7.8 | 2900 | 3500 | PT3/8 | 3 | 17 號 | 330×200×186 |
LEM20MA | 0.75(2P) | 7.3×10 3 | 17 號 | 20 | 2900 | 3500 | PT3/4 | 3 | 19 | 361×250×200 |
LEM40MA | 1.5(2P) | 7.3×10 3 | 34 | 40 | 2900 | 3500 | 二十五 | 五 | 30 | 424×250×233 |
LEM40SS | 1.5(2P) | 7.3×10 3 | 34 | 40 | 2900 | 3500 | 二十五 | 五 | 30 | 424×250×233 |
LEM60SS | 2.2(2P) | 7.3×10 3 | 50 | 60 | 2900 | 3500 | 二十五 | 五 | 30 | 447×250×236 |
LEH30MS | 2.2(2P) | 2.7×10 3 | 22 | 27 | 2900 | 3500 | 二十五 | 五 | 50 | 625×269×359 |
LEH50MS | 2.2(2P) | 2.7×10 3 | 42 | 50 | 2900 | 3500 | 二十五 | 五 | 60 | 650×294×369 |
LEH100MS | 3.7(4P) | 2.7×10 3 | 75 | 90 | 1450 | 1750 | 40 | 十 | 130 | 825×422×500 |
LEH150MS | 5.5(4P) | 2.7×10 3 | 113 | 135 | 1450 | 1750 | 40 | 15 | 158 | 924×422×500 |
LEH200MS | 7.5(4P) | 2.7×10 3 | 150 | 180 | 1450 | 1750 | 40 | 15 | 250 | 1100×438×500 |
LEH300MS | 11(4P) | 2.7×10 3 | 250 | - | 1450 | - | 50 | 15 | 300 | 1243×535×632 |
LEH300MS | 15(4P) | 2.7×10 3 | - | 300 | - | 1750 | 50 | 15 | 第345章 | 1288×535×632 |
* MA型為銅合金葉輪,MS型為不銹鋼葉輪,SS型為不銹鋼葉輪。
*對于抽速和極限壓力來說,這是冷卻水溫度為15°C時的值。
代 理日本各類工業(yè)品:日本SAN-EI TECH三英,MUSASHI武藏點(diǎn)膠機(jī),Nordson諾信EFD,IEI巖下,aicohsha愛工舍ACM(特殊立式攪拌機(jī)),KLEENTEK可濾特,ASAHIKASEI旭化成,TAGAWA十川工業(yè)軟管,YODOGAWA淀川電機(jī),MALCOM馬康,USHIO牛尾點(diǎn)光源,SHOWA DENKI昭和電機(jī),TSUBAKI椿本鏈條,morite鏡頭,KIKUSUI菊水電源,HOZAN寶山,TRUSCO中山,cedar思達(dá),MEISEI邁澤(電熱剝線器)、SANKO山高(金屬探測器、膜厚儀)、TAKASAGO高砂制作所(直流電源)MITSUBISHI三菱 (UPS電源、PLC自動化)
CCS光源(視覺光源、檢查光源)、Tsubosaka壺坂(燈箱、光度計(jì)、輝度箱、光源)、POLARION普拉瑞(探照燈、HID強(qiáng)光燈、檢查燈)AITEC艾泰克(檢查光源)、Iwasaki巖崎(金鹵燈、HID燈、UV燈)
OTSUKA大塚電子(光學(xué)膜厚儀、相位差測試儀、粒度儀)、KOSAKA小坂臺階儀、HORIBA堀場儀器、cosmo科斯莫、MITAKA三鷹光器、SIBATA柴田科學(xué)、RIKEN 理研、TORAY東麗濃度儀、RION理音、ACCRETECH東精精密、HOKUTO DENKO北斗電工、SANYOSEIKO山陽精工、日本IMV愛睦威地震儀、TML東京測器、TOE東京光電子、GRAPHTEC圖技、SIGMAKOKI西格瑪光機(jī)、TOKYO KEISO東京計(jì)裝、FUJI KIN 富士金、TOFCO東富科、FLOWELL 福威、KITZ 開滋、ASAHI旭有機(jī)材、LUCEO魯西歐(表面應(yīng)力儀、偏光應(yīng)力儀)
KYOWA共和(應(yīng)變片、壓力傳感器)、ONOSOKKI小野測器(傳感器、檢測儀)
CKD(氣動元件、電缸)、FUJIKURA藤倉(單向閥、泄壓閥、摩擦氣缸)
TOKISANGYO東機(jī)產(chǎn)業(yè)(粘度計(jì))、ASKER高分子計(jì)器(橡膠硬度計(jì)、試驗(yàn)機(jī))SK新瀉精機(jī)(水平尺、水平測量儀器)SKSATO佐藤(溫度計(jì)、溫度記錄儀)、上海一恒儀器 (恒溫箱、烘箱、)、TECLOCK得樂(硬度計(jì)、千分表)、AND愛安得(電子天平、工業(yè)天平)、KEM京都電子(水分儀、自動電位滴定儀)
TOHNICHI東日(扭力扳手、螺絲刀)KANON中村(電動螺絲刀、扭力工具)
Heishin兵神(泵、點(diǎn)膠機(jī))、KOKUSAN科庫森離心機(jī)、TOKKYOKIKI特許機(jī)器抗震臺、ULVAC愛發(fā)科泵、IWAKI易威奇(泵)、kashiyama柏山(泵)、MARUYAMA丸山(泵)、日本Yamato雅瑪拓、AMAYA天谷制作所、YUASA湯淺(柔性屏彎折試驗(yàn)機(jī))、
SIMCO思美高,SSD西西蒂,DIT東日技研,KASUGA春日,TRINC高柳(靜電儀器設(shè)備)、Kanetec強(qiáng) 力(磁力設(shè)備、高斯計(jì))
ASONE亞速旺(實(shí)驗(yàn)室儀器、車間穿戴裝備)、SAKURAI櫻井(無塵紙、熱敏紙)、Nitto-Kohki日東工器(快速接頭)、NIRECO 尼利可(電動執(zhí)行器、傳感器)
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