日本MIKASA米卡薩株式會(huì)社 日本MIKASA株式會(huì)社中國(guó)代理: MIKASA光刻機(jī).旋轉(zhuǎn)塗鈽機(jī),真空泵日本MIKASA株式會(huì)社中國(guó)代理: MIKASA光刻機(jī).旋轉(zhuǎn)塗怖機(jī),真空泵日本MIKASA株式會(huì)社中國(guó)代理: MIKASA光刻機(jī).旋轉(zhuǎn)塗鈽機(jī),真空泵 半導(dǎo)體制造工序中的Mikasa半導(dǎo)體設(shè)備
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晶園、洗滌**晶園表面的臟污及
各種金屬離子、成膜
在高溫?cái)U(kuò)散爐中,形成、表面氧化膜
電路圖案設(shè)計(jì)、運(yùn)用CAD制作布局、布線
設(shè)計(jì)圖。制作光掩膜
將電路圖案沖印到中間掩、模上(原版照片)
光刻膠涂布、將光刻膠(感光材料)涂抹到晶
圓表面,形成厚度均一的薄膜。
旋轉(zhuǎn)涂膜儀(P4~P11) 將光掩膜與晶園重合,復(fù)制電路
圖案。
光刻機(jī)(P13~P15)
可選組件
顯影、去除曝光部位(正膠)的光刻膠。
顯影裝置(P17. 18)、蝕刻
通過(guò)腐蝕氧化膜來(lái)蝕刻電路。
蝕刻裝置(P19)
離子注入/濺射
向晶園注入離子(混雜物)
滴液裝置可選組件 吸盤
●MS-B100/ MS-B150
●MS-B200
●MS-B300
●MS-B200 (密閉型)
●MS-B300 (密閉型)
日本MIKASA光刻機(jī)
MA-10
●MA-20
●MA-60F
●M-2LF
●M-1S
日本MIKASA曝光,將光掩膜與晶園重合,復(fù)制電路圖案。
日本MIKASA顯影、蝕刻裝置DeveloperEtching
日本MIKASA旋轉(zhuǎn)涂布機(jī)MS-A150/MS-B150現(xiàn)貨現(xiàn)貨旋轉(zhuǎn)涂膜儀
去除曝光部位(正膠)的光刻膠。
●AD-1200
●AD-3000
●PD-1000
日本MIKASA蝕刻裝置
蝕刻裝置
●ED-1200
●ED-3000
日本Mikasa為半導(dǎo)體制造工序提供支持的Mikasa備齊光刻膠涂布、曝光、顯影、蝕刻等半導(dǎo)體制造前段工序所需要的裝置后,提供一站式服務(wù)。另外,為旋轉(zhuǎn)涂膜儀的所有機(jī)型準(zhǔn)備了替代用機(jī),可在發(fā)生故障時(shí)盡早應(yīng)對(duì),且在銷售后提供快捷周到的售后服務(wù)。針對(duì)研究過(guò)程中所發(fā)生的一系列問(wèn)題,也可在現(xiàn)場(chǎng)提出解決建議。與客戶共同探討在哪個(gè)工序出現(xiàn)了問(wèn)題、應(yīng)如何改進(jìn)等等,從而得出解決建議。Mikasa 作為一個(gè)可在半導(dǎo)體方面進(jìn)行共同商談的咨詢顧問(wèn)不僅銷售設(shè)備,而是為客戶半導(dǎo)體制造的整體工藝流程。將光刻膠(感光材料)涂抹到晶圓表面,形成厚度均一的薄膜。
日本Mikasa為半導(dǎo)體制造工序提供支持的Mikasa備齊光刻膠涂布、曝光、顯影、蝕刻等半導(dǎo)體制造前段工序所需要的裝置后,晶圓涂抹提供一站式服務(wù)。
日本Mikasa 半導(dǎo)體用設(shè)備 旋涂機(jī)
MS-B100
MS-B150
MS-B200
MS-B300
MS-B200
密閉型MS-B300
密閉型MA-20
MA-10B
MA-60F
M-2LF
M-1S
AD-1200
AD-3000
ED-1200
代 理日本各類工業(yè)品:SSD,東日技研,TRINC高柳特林科,SIMCO,KIKUSUI菊水,TSUBAKI椿本,SHOWA DENKI昭和電機(jī),MALCOM馬康 ,TML東京測(cè)器,TOE東京光電子,TRUSCO,HIOS,HOZAN,METCAL,HAKKO,淀川電機(jī),USHIO,CCS,三英,MUSASHI武藏,MEISEI,OPTEX,東機(jī)產(chǎn)業(yè),高砂,IMRO,KITO,TOMIX,KURABO,MORITEX等日本SAN-EI TECH三英,MUSASHI武藏點(diǎn)膠機(jī),Nordson諾信EFD,IEI巖下,aicohsha愛(ài)工舍ACM(特殊立式攪拌機(jī)),KLEENTEK可濾特,ASAHIKASEI旭化成,TAGAWA十川工業(yè)軟管,YODOGAWA淀川電機(jī),MALCOM馬康,USHIO牛尾點(diǎn)光源,SHOWA DENKI昭和電機(jī),TSUBAKI椿本鏈條,morite茉 莉特鏡頭,KIKUSUI菊水電源,HOZAN寶山,TRUSCO中山,cedar思達(dá),MEISEI邁澤(電熱剝線器)、SANKO山高(金屬探測(cè)器、膜厚儀)、TAKASAGO高砂制作所(直流電源)MITSUBISHI三菱 (UPS電源、PLC自動(dòng)化)、CCS光源(視覺(jué)光源、檢查光源)、Tsubosaka壺坂(燈箱、光度計(jì)、輝度箱、光源)、POLARION普拉瑞(探照燈、HID強(qiáng)光燈、檢查燈)AITEC艾泰克(檢查光源)、Iwasaki巖崎(金鹵燈、HID燈、UV燈)、OTSUKA大塚電子(光學(xué)膜厚儀、相位差測(cè)試儀、粒度儀)、KOSAKA小坂臺(tái)階儀、HORIBA堀場(chǎng)儀器、cosmo科斯莫、MITAKA三鷹光器、SIBATA柴田科學(xué)、RIKEN 理研、TORAY東麗濃度儀、RION理音、ACCRETECH東精精密、HOKUTO DENKO北斗電工、SANYOSEIKO山陽(yáng)精工、日本IMV愛(ài)睦威地震儀、TML東京測(cè)器、TOE東京光電子、GRAPHTEC圖技、SIGMAKOKI西格瑪光機(jī)、FLOWELL 福威、ASAHI旭有機(jī)材、LUCEO魯西歐(表面應(yīng)力儀、偏光應(yīng)力儀)、KYOWA共和(應(yīng)變片、壓力傳感器)、ONOSOKKI小野測(cè)器(傳感器、檢測(cè)儀)CKD(氣動(dòng)元件、電缸)、FUJIKURA藤倉(cāng)(單向閥、泄壓閥、摩擦氣缸)TOKISANGYO東機(jī)產(chǎn)業(yè)(粘度計(jì))、ASKER高分子計(jì)器(橡膠硬度計(jì)、試驗(yàn)機(jī))SK新瀉精機(jī)(水平尺、水平測(cè)量?jī)x器)SKSATO佐藤(溫度計(jì)、溫度記錄儀)、上海一恒儀器 (恒溫箱、烘箱、)、TECLOCK得樂(lè)(硬度計(jì)、千分表)、AND愛(ài)安得(電子天平、工業(yè)天平)、KEM京都電子(水分儀、自動(dòng)電位滴定儀)、TOHNICHI東日(扭力扳手、螺絲刀)KANON中村(電動(dòng)螺絲刀、扭力工具)、Heishin兵神(泵、點(diǎn)膠機(jī))、KOKUSAN科庫(kù)森離心機(jī)、TOKKYOKIKI特許機(jī)器抗震臺(tái)、ULVAC愛(ài)發(fā)科泵、IWAKI易威奇(泵)、kashiyama柏山(泵)、MARUYAMA丸山(泵)、日本Yamato雅瑪拓、AMAYA天谷制作所、YUASA湯淺(柔性屏彎折試驗(yàn)機(jī))、SIMCO思美高,SSD西西蒂,DIT東日技研,KASUGA春日,TRINC高柳(靜電儀器設(shè)備)、Kanetec強(qiáng) 力(磁力設(shè)備、高斯計(jì))、ASONE亞速旺(實(shí)驗(yàn)室儀器、車間穿戴裝備)、SAKURAI櫻井(無(wú)塵紙、熱敏紙)、Nitto-Kohki日東工器(快速接頭)、NIRECO 尼利可(電動(dòng)執(zhí)行器、傳感器)、TOFCO東富科 (流量計(jì))、eoptics頤光科技(反射膜厚儀)、Filmetrics優(yōu)尼康(膜厚測(cè)量?jī)x)、TOKYO KEISO東京計(jì)裝(超聲波液位計(jì)、超聲波流量計(jì))、RKC理化工業(yè)(數(shù)字顯示控制器、溫度傳感器)、YAMATO雅瑪拓(恒溫箱、噴霧干燥器)、YAMADA雅瑪達(dá)(隔膜泵、往復(fù)泵)、KOFLOC小島(質(zhì)量流量控制器、浮子流量計(jì)、控制閥)、KITZ開(kāi)滋(閥門)、CKD喜開(kāi)理(氣缸、氣缸開(kāi)關(guān))、AMANO安滿能(集塵器、空氣凈化器、工業(yè)清掃機(jī))、NYS株式會(huì)社西村化工(半導(dǎo)體、FPD、 電子部件)、MARUYAMA丸山(柱塞泵、高壓水泵)
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